微夹持器现状及其发展

摘要：

微夹持技术是微机械（MEMS）及其部件装配与维护的关键技术之一。该文以微夹持器的分类与研究成果进行了分析总结，阐述了典型微夹持器的组成结构及其工作原理，指出当前微夹持器研制的发展方向，以期对微夹持器的研究工作起一定借监作用。

关键词： 微夹持器 微机械系统 微致动器 精密机械

作者: 李玉和 毛乐山 李庆祥 薛实福

作者单位: 清华大学精密仪器系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 80-82

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）