可用于系统级模拟的微加速度计等效电路模型

摘要：

通过对微力加速度计工作机制的分析，他们开发出了一种可以应用于集成电路模拟软件的加速度计等效电路模型。利用该模型，可以将微加速度计和信号处理电路进行一体化的系统模拟。利用该模型，他们模拟了带有力平衡反馈的电容式加速度计的频率响应。

关键词： 微加速度计 集成电路 模拟软件 模拟等效电路模型

作者: 李志宏 王阳元

作者单位: 大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会”98敏感技术学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 175～178

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）