微机械振动阵列频谱传感器的特性研究

摘要：

由多人传感单元构成的硅微机械阵列频谱传感器是一种新型器个。该器件利用了传感器固有频率附近一段频带具有最高的信号传感灵敏度和优良地滤波特性的优点，使其获取信号的同时实现滤波；弥补了单个传感器频响范围不足的缺陷陷。

关键词： 微机械阵列 机械滤波 频谱分析 微机械振动 频谱传感器

作者: 陈愚 徐道连 高杨

作者单位: 重庆大学微系统研究中心(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 146-148

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）