激光LIGA工艺制作微机械元件

摘要：

文章介绍了一种用于三维微结构元件制作的微细加工技术---激光LIGA技术中的一项重要工艺流程；准分子激光深层光刻PMMA光刻胶工艺。文章对准分子与PMMA相互作用的机理，深层光刻的实验装置以及实验过程分别作了详细的论述或介绍，并将实验结果应用于微机械元件的制作，取得了较好的结果。

关键词： 微机械元件 激光光刻 激光微细加工 激光消融

作者: 沈蓓军 王润文 路郭武 黄惠杰 杜龙龙

作者单位: 上海光学精密机械研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 109-111

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）