新型的微机械振动轮式陀螺仪

摘要：

介绍了静电驱动，电容检测的微机械振动轮式陀螺仪样机的结构，加工工艺，工作原理，驱动与检测电路以及实验结果；给出了检测电路的分辨率；得到了样机驱动轴与检测轴的频率特性。指出该陀螺精度达到10°～1°／h是可行的。

关键词： 微机械陀螺 微机械传感器 陀螺仪

作者: 董煜茜 张嵘

作者单位: 大学精密仪器与机械学系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第八届空间及运动体控制技术学术会议

会议地点: 黄山

会议语种:中文

页码: 243～247

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）