微机械加工技术在惯性器件制作中的应用

摘要：

讨论利用微机械加工技术制作惯性器件的可能性、必然性，介绍了几种在惯性器件制作中常用的微机械加工工艺，举例说明用微加工技术制作的角速率传感器及加速度传感器的结构及性能。

关键词： 微机械加工技术 惯性器件 导航 汽车

作者: 张巧云 吕志清 彭洪亮

作者单位: 压电与声光技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国惯性技术学会光电技术专业委员会第三次学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 100～107

在线出版日期: 1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）