微压及微差压的精密测量与计量

摘要：

传统的斜管水压计，补偿式微压计已越来越不适应微压测试与计量技术发展的要求。作者用微机械加工技术及最新的应力集中设计地交接计量的开发出量程１ｋＰａ的压阻式高精度微差压传感器，并进而开发出高精度数字微压计。这种高精度微差压传感器已在风洞、潜艇、无人机、医疗设备等许多重要应用中获得成功，数字式微压计已在煤矿风表计检中成功应用。

关键词： 微机械加工 压阻 应力集中 数字微压计

作者: 蔡亚平 鲍敏杭 陈淮新 韩雪峰

作者单位: 传感器研究所 大学 矿务局通风实验室 空气动力研究中心五所

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 704～705

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）