微机械光开关及阵列的研究与发展

摘要：

微机械光天关是光通信网实现光纤到户的关键器件.本文首先回顾了微机械光天关及其阵列的应用背景和现状,对微机械光天关及其阵列进行了分类;并对其结构与工作原理进行了分析;最后,并对其结构设计进行了探讨.

关键词： 微机械光开关 微机电系统

作者: 张培玉 武国英 郝一龙

作者单位: 微米/纳米加工国家重点实验室,北京大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 218-220

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）