微机械及微细加工技术

摘要：

该文介绍了当前国际上微机械研究的概况与发展趋势、相关基础理论和制作微机械的主要工艺技术。

关键词： 微机械 微细加工

作者: 曾忠

作者单位: 上海理工大学机械工程学院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 160-162

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）