静电致动硅微继电器的抗冲击设计

摘要：

本文介绍了一种基于硅微技术的微继电器的抗冲击结构设计.文中重点给出了具体设计结构及计算.

关键词： 微机械 静电力 硅微继电器 硅微技术

作者: 桂君君 李永红

作者单位: 华北工学院(山西太原)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第10届测试技术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 955-959

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）