静电致动硅微继电器研究

摘要：

本文介绍了一种基于MEMS技术,采用静电致动原理,通过多晶硅表面微机械加工工艺设计、加工的硅微继电器.文中还给出了具体设计结构、加工工艺、技术参数等.

关键词： 微机械 硅微技术 继电器

作者: 李永红 杜君君 董海峰 张文栋

作者单位: 华北工学院(山西太原)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第10届测试技术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 759-762

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）