差动电容微加速度计

摘要：

该文分析了国外加速度计研究的概况和发展趋势，介绍了几种差动电容式加速度计的结构，提出了一种新的三维差动电容加速度计结构，并分析了其力学模型。

关键词： 微机械 加速度计 差动电容加速度计

作者: 王晓浩 周兆英 张文栋 叶雄英

作者单位: 大学精密仪器系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第九届测试技术年会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 286～290

在线出版日期: 1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）