4nH硅微机械电感研究

摘要：

在分析影响电感性能的各因素后，对微波系统中常用的4 nH电感进行了具体的计算和模拟，给出了在2 GHz工作频率下的优化结构，并提出了该微机械平面螺旋电感的工艺设计。设计结构保证电感在该工作频率下有较高的Q值，工艺流程与硅CMOS工艺兼容。

关键词： 微机械 电感 Q值 硅

作者: 丁勇 刘泽文 刘理天 李志坚

作者单位: 清华大学微电子学研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 247～249

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）