一种微机械光开关理论分析

摘要：

对悬臂梁微机械光开关光学和电学特性进行了理论分析，利用有效折射率方法对波导传播特性进行了分析，基于机械和电学牧场 生导出了弯曲和电压的关系，并给出阈值电的解析表式。

关键词： 微机械(MEMS) 光开关 悬臂梁 光波导 阈值电压

作者: 贾玉斌 陈良惠 李玉璋

作者单位: 中国科学院半导体研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 174～177

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）