微机电系统的发展趋势及国内外研发状况

摘要：

本文将介绍国外电系统(MEMS)基础理论与基础技术方面的研究工作及产业发展状况.还将介绍我国在MEMS方面的经费投入、立项、主要研究.单位以及十年来有代表性的研发工作.

关键词： 微机电系统 微米机械 系统功能 系统技术

作者: 王立鼎

作者单位: 大连理工大学MEMS中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科协2001年学术年会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 98-98

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）