双金属热致动微执行器研究

摘要：

介绍了一种利用两种材料热膨胀系数不同原理制造热执行器的方案.本方案采用双金属悬臂梁做微镜子的位置驱动器,并详细介绍了它的加工工艺.

关键词： 微机电系统 双金属热致动 微执行器 加工工艺

作者: 魏京信 张文栋 李永红

作者单位: 华北工学院(山西太原)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第10届测试技术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 755-758

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）