电化学在微型机电系统中的应用

摘要：

通过列举电化学在微型机电系统中的应用,表明电化学在MEMS的微加工、微型电源和许多基础问题方面皆大有可为,同时微系统的兴起也为电化学提供新的发展机遇.

关键词： 微机电系统 电化学 纳米加工

作者: 田中群 孙建军 黄海苟 程旋 蒋利民 田昭武

作者单位: 厦门大学 固体表面物理化学国家重点实验室,化学系(厦门)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 33-35

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）