微机电系统(MEMS)与微机械惯性器件

摘要：

策机电系统(Micro electro mechanical system,MEMS)在中国经过十多年的发展，已显示了其强大的生命力并将对科学技术和人类生活产生革命性的影响。微机械惯性器件是微机电系统研究的一个重要，它是微电子加工技术和惯笥技术相结合的产物。随着硅平面加工技术向准三维加工技术的发展，人们就可以象生产集成电路那样来生产惯性器件，从而使惯性技术产生重大变革。该文僮要叙述了策机械惯性器件的发展状况、技术趋势和市场预测。

关键词： 微机电系统 惯性器件 陀螺 加速度计

作者: 吕志清

作者单位: 信息产业部电子第二十六研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十一届电子元件学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 280～284

在线出版日期: 2000-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）