关键词： 微机电系统 材料 半导体 加工
作者: 张寿柏 丁桂甫 沈天慧
作者单位: 交通大学信息存储研究中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 272～279
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）