MEMS耦合场分析与系统级仿真

摘要：

微机电系统的计算机辅助设计是MEMS真正走向市场的重要基础。耦合场分析与系统级仿真是MEMS CAD中两个最关键的环节。该文概括了MEMS CAD的体系结构；综述了耦合场计算的常用数值方法及应用范围：着重介绍了适合于MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法、分析了各自的优缺点，指出今后有待继续研究的几个问题。

关键词： 微机电系统(MEMS) 多场耦合 系统级仿真 CAD

作者: 孙道恒

作者单位: 厦门大学机电工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 238～242

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）