光电集成测速硅静电微晃动马达

摘要：

该文采用微马达与光电二极管一起集成，组成光电测速系统。在马在转子下面集成几个光电二极管，利用反偏二极的暗电流和亮电流的变化来测量马达的转速。它提高了马达的测速范围，解决了视频摄像测速系统测速低的问题。此外，它还具有测试方便，工艺兼容、准确等优点。还可以制成斩光器。成为光、机、电的MEMS系统。

关键词： 微晃动马达 光电集成 测速

作者: 齐臣杰 候或 刘理天

作者单位: 清华大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 74～77

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）