关键词： 微光机电系统 MOEMS
作者: 蔡炳初
作者单位: 交通大学信息存储研究中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 63～69
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）