微构件机械性能的测试与装置

摘要：

叙述了用声波激振、光纤耦合测量硅微构件杨氏模量的方法，测量了薄膜微构件的硬度，并对微结构材料冲击韧性的测量装置进行了研究。

关键词： 微构件 机械性能测试 试验装置

作者: 蒋庄德 卢德江 王长昕 陈伟 费斌

作者单位: 交通大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 750～754

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）