机构、驱动、检测一体化纳米级微动机器人系统的研究

摘要：

具有纳米级定位精度的微动机器人系统的研究一直是国内外的研究热点之一,机构、驱动、检测一体化的设计方法是实现机构紧凑的纳米级定位系统的有效方法.本文对这一设计方法的原理、关键问题及实现方法进行了详细的论述,并给出了样机图片和实验结果.

关键词： 微动机器人 纳米级定位

作者: 孙立宁 张涛 曲东升 蔡鹤皋

作者单位: 哈尔滨工业大学机器人研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 210-214

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）