二维精密微动工作台的研制

摘要：

为解决微位移技术中的大行程和高分辨率之间的矛盾，研制了用象蚯蚓一样爬行的沿矩形导轨爬行的柔性框架式爬行器驱动的二维精密微动工作台，使微动工作台的行程达到毫米级，而仍然保持较高的分辨率。

关键词： 微动工作台 爬行器 分辨率 微位移技术

作者: 张定会 邵惠鹤

作者单位: 交通大学自动化系

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第四届自动化应用技术交流会

会议地点: 安徽

会议语种:中文

页码: 326～329

在线出版日期: 1998-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）