关键词： 微电子技术 光刻 特种玻璃 玻璃
作者: 齐亚范
作者单位: 科学院光电技术研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国玻璃学术年会
会议地点: 北京
会议语种:中文
页码: 855～861
在线出版日期: 1998-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）