关键词： 微电子技术 测度技术 电子薄膜
作者: 倪受庸 史红民 付雷 陆耀东
作者单位: 北京光电技术研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十届全国激光检测应用技术与学术交流会
会议地点: 北戴河
会议语种:中文
页码: 31～32
在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）