微阵列式加速度传感器的设计

摘要：

本文论述微系统的组成,研究应用回归分析方法,设计测试微系统中平面加速度场的传感器阵列布置,设计和制造微阵列式加速度传感器.

关键词： 微电子机械系统 加速度传感器 回归方程

作者: 刘晓明 朱钟淦

作者单位: 电子科技大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电子机械工程分会第四届学术年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 202-205

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）