关键词： 微电子机械系统 MEMS 发展动态
作者: 杨辉
作者单位: 303所
会议类型: 国内会议
会议名称: 2000年机载设备制造技术学术交流会
会议地点: 南京
会议语种:中文
页码: 6-10
在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）