微机电系统中热分析的几个问题

摘要：

该文针对微传热学及其热分析给出一个理论描述，以期促进ＭＥＭＳ设计理论及研究方法的发展，适应设计与制造技术趋于一体化研究的需要。

关键词： 微电子机械系统 微热传导 残余温度应力

作者: 贾建援 王志荣

作者单位: 电子科技大学电子机械学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国电子设备热设计专题学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 75～77

在线出版日期: 1999-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）