射频/微波MEMS器件研究
微电子机械系统(microelectromechanical system，简称MEMS)，是一项有广泛应用前景的新兴应用基础技术，是面向21世纪的信息技术核心之一。在无线通信领域中，正在进行研究开发的微机械元件有：微机械开关、微机械传输线、微机械谐振器（包括射频、微波、毫米波波段）、微机械高Q电感和可调谐电容、微机械天线。该文对微波毫米波MEMS技术在该领域中的最新进展作了评述。
微电子机械系统 射频/微波器件 微机械元件
赖宗声 茅惠兵 范忠 石艳玲 房惠霞
华东师范大学电子工程系
国内会议
北京
中文
17～19
1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）