微电子机械系统的计算机辅助设计

摘要：

概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计。分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题。采用基于能量的方法构造可取代全三维完整模拟的低阶分析宏模型来近似表示静电致动微系统结构变形，使微系统的计算机辅助设计和仿真模拟系统更易于实现。

关键词： 微电子机械系统 计算机辅助设计 系统模拟 微系统 仿真模拟

作者: 孙克豪 胡宇群 王立森

作者单位: 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 力学2000学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 621～622

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）