氮化钛涂层的电感耦合等离子体协助物理气相沉积

摘要：

利用物理气相沉积合成陶瓷薄膜和涂层时增加低能量离子轰击的有益效果在近期被大量引证。他们装配了一个小型实验室规模高密度电感耦合等离子体协助磁控溅射系统。这样一个系统可提供比常规磁控溅射更高的离子密度。他们描述利用电感耦合等离子体协助反应磁控溅射在较低温度下合成氮化钛涂层的过程。

关键词： 微电子 装配 封装 半导体 倒封焊技术

作者: 孟文晋 T.J.Curtis

作者单位: 通用汽车公司环球研究开发运作

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科协第三届青年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 200～202

在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）