“统计过程控制”软件XDSPC

摘要：

该文分析了当前微电子领域实施统计过程控制(SPC)技术的必要性和现实需求，重点介绍了开发的“统计过程控制”软件XDSPC的基本原理、分析功能和应用实例。同时说明了该软件将要进一步增加的模块。XDSPC 软件也同样适用于其他电子元器件生产的统计过程控制。

关键词： 微电路 大规模集成电路 统计过程控制 软件

作者: 贾新章 徐如清

作者单位: 电子科技大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第九届学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 284～288

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）