基于声表面波技术的微传感器

摘要：

本文在阐述了微米、纳米技术与微传感器的密切关系,简要介绍了声表面波技术的发展历程和特性.详细阐述了声表面波传感器两种基本模式——延迟线型和谐振型的工作原理.介绍了声表面波传感器的实际制作及其在测量中的应用,包括声表面波器件在目标识别系统中应用的可行性.

关键词： 微传感器 声表面波传感器

作者: 施文康 马伟方 刘艾

作者单位: 上海交通大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 215-217

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）