电容式测压微传感器及其测量电路

摘要：

本文主要探讨了接触式电容压力微传感器的结构原理及其测量电路.文中在对该传感器模型进行仿真时利用大挠度理论和当量半径作近似处理,利用MATLAB语言进行仿真的结果表明该传感器的测量电容与压力之间具有较宽的线性范围.由CMOS管组成的测量电路具有较好的线性和灵敏度,有效地消除了杂散电容的影响.

关键词： 微传感器 测压传感器 测量电路

作者: 许金海 邓俊泳

作者单位: 厦门大学机电工程系(福建厦门)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 258-260

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）