微传感器和微执行器发展前景
简述了微机电系统近年来研究的概况，其中微传感器成就最突出，技术比较成熟，实用化程度高，有一定的市场占有率，在非传感器方面，在很大程度还是技术推动的新领域，技术难度很大，当今微传感器和策执行器发展的动向是，提高性能；将传感器和执行器制造在一起，甚至将传感器、执行器和微处理吕集成制造在一块芯片上；作成陈列器件，嵌入器件和测控功能部件，还可将它们分布到材料和结构中，实现一定的功能，构成机敏结构，成以微传感器和微执行器为基础的专用集在微型仪器、微化学分析装置、生物分析芯片等。
微传感器 微执行器 微机电系统 微型仪器
钟先信
重庆大学微系统研究中心
国内会议
北京
中文
32～34
2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）