微差压传感器膜片成型技术的研究

摘要：

微差压传感器采用EI型膜片结构，其膜片成型技术包括两方面的内容，正面Ⅰ型梁的形成和背面E型杯的加工。最终形成的EI型膜片其厚度仅为20μM，该文通过对这一技术的叙述，介绍了微差压传感器膜片型成型中的关键工艺和结果，实践证明，方法简便易行，工艺重复性、一致性好，在生产中收到实效。

关键词： 微差压传感器 膜片成型技术

作者: 李颖 李妍君 吴丁民 章学群

作者单位: 沈阳仪器仪表工艺研究所(辽宁)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 402～405

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）