微操作智能仪器的研究

摘要：

本文主要是针对微作业的特殊性,根据其设计原则,对微操作智能仪器进行了研究.微夹持机构是微操作智能仪器的关键组成部分,本文中选用了热双金属作为夹持元件,结合控制电路,实现了夹持力的准确控制以及摆控制.

关键词： 微操作智能仪 微夹持机构 系统设计

作者: 蒋庄德 王朝晖 马少强 李兵

作者单位: 西安交通大学精密工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 198-200

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）