微波离子源工作特性分析

摘要：

从微波离子源放电机理出发，结合调试实验工作分析研究了微波离子源波传输、工作气压、磁场分布及引出系统等因素的工作特性，说明了微波离子源的技术特点。

关键词： 微波离子源 ＥＣＲ等离子体 微波传输 微波介质窗 工作气压 磁场分布 引出系统

作者: 戴习毛

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 205～210

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）