利用微波近场显微镜研究薄膜微波表面电阻的空间分布

摘要：

－－该文介绍了作者们设计和制造的一套同轴谐振腔型微波近场扫描显微镜，利用该显微镜可以研究材料微波特性的空间分布，文章分析了微波近场扫描显微镜的空间分辨率并研究了影响空间分辨率的因素。利用这套微波近场扫描显微镜，以金属薄膜的微波表面电阻的空间分布进行了测量。

关键词： 微波近场显微镜 薄膜微波表面电阻 空间分布

作者: 冯一军 刘雷 刘庆国 尤立星 杨森祖

作者单位: 大学电子科学与工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 1999年全国微波毫米波会议

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 672～674

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）