微波集成滤波器研究

摘要：

用MEMS技术在硅基片上制作了微波集成滤波器，并提出一种三维电容，该电容用MEMS的深槽刻蚀技术实现三维结构。该电容面积只有平面电容的1/3。电感采用MEMS的背面腐蚀技术，去掉硅衬底，减少了衬底损耗，解决硅衬底电阻率不高的缺点。导体采用MEMS的准LIGA厚胶光刻和电铸工艺，使金属膜的厚度大大增加，减少导体损耗，从而提高电感的Q值。

关键词： 微波集成电路 滤波器 三维电容

作者: 张海涛 齐臣杰 刘理天

作者单位: 清华大学微电子研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 205～207

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）