一种高灵敏度微波功率传感器的新结构设计

摘要：

该文提出一种半导体热偶微波功率传感器的新的微结构设计方案。解决原有设计器件存在的问题，以获得更高的灵敏度。对该新结构进行理论分析，有限元计算，取理了理想的结论。

关键词： 微波功率传感器 半导体热偶微波功率 传感器 热偶截面

作者: 张雨燕 陈德勇 崔大付

作者单位: 中科院电子所传感技术国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 104～106

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）