用于微波功率测量的新型薄膜／半导体热偶

摘要：

新型薄膜／半导体热偶是用于微波测量的功率计探头的关键元件，它具有灵敏度高、动态范围大、零点漂移小、噪声低等特点。它是采用半导体薄膜技术制成的以半导体薄片为基片，并作为热偶臂的薄膜／半导体热偶。它集成了半导体外延、重掺杂、超薄硅杯（5um）。薄膜热偶、梁式引线等多项高难度先进技术。薄膜／半导体的热偶研制成功，将使中国微波测试技术进入国际先进水平。

关键词： 微波功率 薄膜／半导体热偶

作者: 郭方敏 丁玲

作者单位: 科学院上海冶金研究所一室,传感技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 237～240

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）