一种简易的微波等离子体激发真空紫外光CVD系统

关键词： 微波等离子体 光CVD SiO<,2>薄膜

作者: 江汉保 杜开瑛

作者单位: 联合大学无线电系(成都) 联合大学物理系(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第二届微波化学会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 78～78

在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）