微机电系统的微波应用

摘要：

介绍微机电系统(MEMS)这一新兴技术在微波和毫米波领域的应用,列出几种典型部件.

关键词： 微波部件 毫米波部件 精密机械加工 集成电路工艺 微机电系统 微波

作者: 林守远 顾墨琳

作者单位: 南京电子技术研究所(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2000年结构与工艺联合学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 15-22

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）