沉积金刚石薄膜与优化等离子体放电条件

摘要：

该文着重介绍微波ECR等离子体气相沉积金刚石薄膜技术。并利用郎缪探针，测量出氢等离子体的电子温度、密度、与不同气压和偏压的对应关系。

关键词： 微波ECR装置 金刚石薄膜 等离子体与压强 等离子体与正负偏压

作者: 任育峰 杨思泽

作者单位: 中国科学院物理研究所等离子体实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 105-107

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）