微波/毫米波电路微小型化的发展趋势

摘要：

该文简述微波／毫米波电路的微小型过程、现状和发展趋势。指出微波／毫米波单片集成电路（ＭＩＭＩＣ）和微电子机械系统（ＭＥＭＳ）相结合将会开拓科技新领域及各种应用的美好前景。予计，将来微波／毫米波电路必然向着纳米（ｎｍ）电子器件及系统发展。

关键词： 微波 毫米波 单片集成电路 微电子机械系统

作者: 张炳荣

作者单位: 工业第二十九研究所(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 1999年全国微波毫米波会议

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 647～650

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）