关键词： 微波 ECR 等离子体 薄膜
作者: 任兆杏 邬钦崇 梁荣庆
作者单位: 科学院等离子体物理研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 116～121
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）