微泵膜片在静电驱动下的计算机模拟

摘要：

该文对微泵膜片在静电力驱动下产生的形变和由此引起的微泵腔体体积的变化进行了计算机模拟分析，得出了膜片厚度、形状和静电驱动电压对微泵腔体体积变化的影响，以及膜片振动的固有频率与膜片厚度之间的关系。研究结果为微泵结构的设计优化提供了依据。

关键词： 微泵 有限元 计算机模拟

作者: 刘晓为 范茂军

作者单位: 滨工业大学航天学院 传感器研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会”98敏感技术学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 220～223

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）